নির্ভুল মেশিনিং মাইক্রোন স্তর থেকে ন্যানোমিটার স্তরে বিকশিত হচ্ছে, এবং অতি-নির্ভুল মেশিনিং 10 ন্যানোমিটার মাত্রিক নির্ভুলতা এবং 1 ন্যানোমিটার পৃষ্ঠের রুক্ষতা অর্জন করেছে৷ কম্পোজিট প্রযুক্তি যেমন আধা-স্থির ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম মেশিনিং, যান্ত্রিক গ্রাইন্ডিং এবং রাসায়নিক ক্রিয়া সহ, সমন্বিত সার্কিট সাবস্ট্রেট প্রক্রিয়াকরণে উচ্চ- নির্ভুল সমতলতা অর্জন করে। ভবিষ্যতে, মাইক্রো-যান্ত্রিক উত্পাদন এবং অপটিক্যাল উপাদানগুলির নির্ভুলতার প্রয়োজনীয়তা পূরণের জন্য বহু-শক্তি ক্ষেত্রের যৌগিক মেশিনিং এবং বুদ্ধিমান প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থার মতো প্রযুক্তির বিকাশের দিকে ফোকাস করা হবে৷
